气相沉积应用技术|王福贞马文存责任编辑：王兴垣|机械工业出版社

【相关下载】
·免费样章 ·精彩文前
【二手书】
本产品共有 0 册二手书出售，最低价：￥.00 [查看]

推荐图书

	燃气燃烧与应用（第三版）作者:《燃气燃烧与应用》编委会编
	石油工程概论作者:陈涛平等
	中国石油事故案例选编(200... 作者:本社编委会编
	钻井与完井工程作者:陈平
	石油化工建设工程工程量清... 作者:中国石油化工集团公司工程建设管理部　编
	液化石油气站操作工作者:丁崇功

用户购买本书还购买了

· 光机电一体化系统典型实例

· 复合材料及其工程应用

· 机械工程材料与热加工工艺

· 机械零部件设计禁忌

· 热浸镀技术与应用

· 新能源和可再生能源的利用

· 有机涂料改性技术

· 泵测试实用技术

· 泵类设备维修问答

· 表面改性热处理技术与应用

金书共建·What's this?

[分类共建] ·所有未分类图书查看
本书当前分类：
石油、天然气工业
我觉得本书应分到此类中：

[金书WIKI]
[ 编辑 ]当前页面使本书内容更加完善

[资源共建]
·提交本书书摘 ·提交本书相关资源

气相沉积应用技术

您想读这本书吗？
作者：王福贞马文存责任编辑：王兴垣	出版社：机械工业出版社
译者：	丛书名：
出版日期：2007-1-1	上架日期：2006-12-4 18:28:00
ISBN：7111200659	页数：411 版次：1-1
开本：B5	装帧：

市场价：~~￥38.00~~

贵宾会员价：￥28.50
高级会员价：￥29.64
普通会员价：￥30.40

金书豆豆(What's this?)

种一个豆豆，书价我来定！

我要种一个豆豆

【您的购物车】

购买册数：


货到付款：北京、上海、天津、广州、深圳、湖北、河南、山西、陕西、山东、四川、重庆、浙江更多查看>>

| 大封面 | 封底 | 前言 | 内容简介 | 序言 | 目录 | 作者简介 | 译者简介 | 作者序 | 译者序 |

【读者评论】

内容简介
本书在第1篇中全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析。在第2篇中介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、信息存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化和柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。本书内容丰富新颖，力求紧密联系实际。
本书可供从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者、在校师生和工人阅读，也可以作为相关专业的参考书。

目录
伸缩显示:

[弹出查看]

序1. 
序2 
前言 
第1篇气相沉积技术基础及各种气相沉积技术 
第1章气相沉积技术概述 
1气相沉积技术分类 
2气相沉积技术特点 
3气相沉积技术应用 
第2章化学气相沉积技术 
1绪言 
2化学气相沉积物理化学基础 
2.1CVD反应方式 
2.2CVD反应条件 
2.3CVD反应过程 
3化学气相沉积热力学分析 
4化学气相沉积反应物质源 
4.1气态物质源 
4.2液态物质源 
4.3固态物质源 
5化学气相沉积涂层质量影响因素 
5.1沉积温度 
5.2沉积室压力 
5.3反应气体分压(配比) 
6化学气相沉积装置 
6.1CVD装置基本构成 
6.2负压CVD装置主要性能简要说明 
7高温化学气相沉积技术 
7.1HT—CVDD硬质涂层种类和性能 
7.2HT—CVD工艺技术 
8中温化学气相沉积(MT—CVD)技术 
8.1MT—CVD反应机理 
8.2MT—CVD工艺过程及设备 
8.3MT—CVD沉积TiCN涂层组织结构及特性 
8.4高性能涂层材料及其沉积工艺技术 
8.5高性能涂层硬质合金刀具组织结构及特性 
参考文献 
第3章物理气相沉积技术 
1物理气相沉积技术概论 
1.1物理气相沉积分类 
1.2物理气相沉积的特点 
2物理气相沉积技术基础 
2.1物理气相沉积相关的真空物理基础 
2.2低温等离子体物理基础 
3物理气相沉积技术 
3.1真空蒸发镀 
3.2离子镀 
3.3电子枪蒸发源二极型离子镀 
3.4热阴极离子镀 
3.5射频离子镀 
3.6集团离子束离子镀 
3.7活性反应离子镀 
3.8空心阴极离子镀 
3.9热丝弧枪离子镀 
3.10电弧离子镀 
3.11磁控溅射镀 
3.12离子束及其在气相沉积方面的应用 
参考文献 
第4章等离子体增强化学气相沉积技术 
1等离子体增强化学气相沉积技术机理 
2等离子气体产生过程及性质 
2.1多原子分子具有平动.旋转和振动自由度 
2.2分解 
2.3电离 
3等离子体化学反应过程 
4等离子体增强化学气相沉积装置 
5等离子体增强化学气相沉积工艺过程及特点 
5.1PECVD211艺过程 
5.2PECVDI艺特点 
5.3采用直流脉冲PECVD技术是硬质涂层的主要发展方向 
6等离子体增强化学气相沉积涂层组织特征 
6.1等离子体增强化学气相沉积涂层类型 
6.2等离子体增强化学气相沉积涂层组织特征 
参考文献 
第5章气相沉积设备 
1化学气相沉积设备系统 
1.1CVD涂层设备系统主要技术指标 
1.2CVD涂层设备系统各部分功能及设计要求 
1.3典型生产用CVD涂层设备 
2等离子体增强低温化学气相沉积设备 
2.1直流脉冲电源特性 
2.2等离子体增强化学气相沉积设备 
3物理气相沉积设备及配套系统 
3.1真空室 
3.2真空获得与真空泵 
3.3进气系统 
3.4真空测量 
3.5气相沉积技术中的电源 
参考文献 
第6章预处理主要辅助设备 
1清洗 
2刃口强化 
2.1刃口强化作用 
2.2刃口强化工艺及设备 
3喷砂 
参考文献 
第7章膜层质量测试 
1膜层质量测试内容 
2性能检验 
2.1膜层硬度测量 
2.2膜层厚度测量 
2.3膜层附着力测试 
2.4膜层内应力测试 
3膜层的微区检测 
3.1显微组织形貌分析 
3.2膜层的晶体结构分析 
3.3膜层成分分析 
参考文献 
第2篇气相沉积技术应用领域 
第1章气相沉积技术在硬质涂层中的应用 
1硬质涂层制品在机械工业中的应用 
1.1机械工业发展对涂层工具.模具性能的要求 
1.2硬质涂层工具的作用 
1.3涂层工模具所占市场份额 
2新型硬质涂层的发展趋势 
2.1新的金属陶瓷硬质涂层 
2.2多元复合涂层 
2.3多层复合涂层 
2.4纳米复合涂层 
2.5纳米晶.非晶复合涂层 
2.6非金属超硬涂层 
3硬质涂层制品应用 
3.1硬质涂层切削工具的应用 
3.2硬质涂层模具及耐磨损.耐腐蚀零件应用 
4不同硬质涂层的实用沉积工艺技术 
4.1硬质合金刀具典型CVD实用工艺技术 
4.2高速钢刀具PVD实用工艺技术.. 
4.3模具PECVD实用工艺技术 
5非金属超硬涂层沉积技术 
5.1金刚石涂层的沉积技术及应用 
5.2立方氮化硼涂层的沉积技术及应用 
5.3氮化碳涂层气相沉积技术及应用 
5.4纳米级涂层和纳米超硬多层 
复合涂层沉积技术及应用 
参考文献 
第2章气相沉积技术在防护涂层方面的应用 
1防护涂层的作用 
1.1防护涂层性能 
1.2获得防护涂层的方法 
1.3用气相沉积技术获得防护涂层的独特性 
2耐腐蚀涂层 
2.1防腐涂层的种类 
2.2气相沉积技术耐腐蚀层的应用领域 
2.3防腐蚀层的气相沉积技术 
3热障涂层 
3.1热障涂层的组成 
3.2热障涂层的气相沉积技术 
参考文献 
第3章气相沉积技术在光学薄膜领域中的应用 
1光学薄膜的应用领域 
1.1光学薄膜的应用范围 
1.2光学薄膜的功能 
2光学薄膜特性 
2.1在不同媒质界面上光的反射 
2.2减反膜(增透膜) 
2.3反射膜 
2.4截止滤光片 
2.5选择吸收膜 
3光学薄膜的气相沉积技术 
3.1减反膜(增透膜)的沉积工艺 
3.2反射膜的沉积工艺 
3.3选择吸收膜的沉积工艺 
4光学防伪薄膜 
4.1防伪技术的现状与薄膜防伪技术的发展 
4.2防伪膜的基本理论 
4.3整膜防伪膜的设计与工艺举例 
4.4碎膜防伪技术要点 
参考文献 
第4章气相沉积技术在建筑镀膜玻璃方面的应用 
1建筑镀膜玻璃的功能 
2普通玻璃的光学性能 
3镀膜玻璃的遮阳隔热原理 
3.1阳光控制膜 
3.2低辐射率膜 
3.3阳光控制膜和低辐射率膜的材料 
4智能窗玻璃 
4.1智能窗玻璃的应用 
4.2智能窗玻璃的种类 
4.3各种智能薄膜变色的机制 
4.4智能窗玻璃薄膜的沉积工艺 
5防雾防露和自清洁玻璃 
5.1防雾防露和自清洁玻璃的功能 
5.2光催化机理 
5.3防雾防露和自清沽玻璃的沉积工艺 
参考文献 
第5章气相沉积技术在太阳能利用领域的应用 
1太阳能——取之不尽的能源 
2太阳能光一热转换 
2.1太阳光谱选择性吸收 
2.2太阳能的光.热转换能效薄膜 
2.3太阳能集热器 
2.4太阳光谱选择吸收薄膜的沉积技术 
2.5太阳能热水器合成 
3气相沉积技术在太阳能光.伏转换领域中的应用 
3.1太阳能光.电转换 
3.2太阳能光一电转换薄膜 
3.3太阳能光一电转换薄膜的沉积技术 
4太阳能电池的应用实例 
参考文献 
第6章气相沉积技术在集成电路制造中的应用 
1集成电路高集成化发展方向 
1.1集成电路在高新技术中的应用 
1.2集成电路的高集成化 
2集成电路类型 
2.1集成电路 
2.2分立器件电路 
3集成电路组成 
3.1有源器件——包括晶体管的器件 
3.2无源元件 
4集成电路加工工艺 
4.1氧化工艺 
4.2刻蚀.光刻工艺 
4.3掺杂.离子注入 
4.4互连布线的沉积和刻蚀 
5分立器件电路的加工 
5.1薄膜电阻器 
5.2薄膜电容器 
5.3薄膜网络器件 
5.4薄膜温度传感器 
5.5薄膜气敏传感器 
5.6高温超导薄膜 
5.7发光器件 
参考文献 
第7章气相沉积技术在信息显示器件中的应用 
1信息显示器件的应用 
2信息显示器件的种类 
2.1阴极射线管(CRT) 
2.2平板显示器 
3平板显示器件用薄膜 
3.1各种平板显示器的工作原理及相关薄膜 
3.2平板显示器薄膜的气相沉积技术 
参考文献 
第8章气相沉积技术在信息存储领域的应用 
1信息存储技术的进展 
2信息存储的类型与存储薄膜 
2.1磁信息存储 
2.2磁光信息存储 
2.3全光信息存储 
3超高密度信息存储材料 
3.1科学技术发展进入了纳米电子器件新时代 
3.2超高密度信息存储材料 
4纳米区内电荷存储技术 
参考文献 
第9章气相沉积技术在装饰饰品上的应用 
1装饰品给人们五彩缤纷的生活 
1.1装饰件底材 
1.2装饰薄膜种类 
2金属基材装饰膜的沉积 
2.1金属基材装饰品的应用领域 
2.2金属基材制件对装饰膜层的要求 
2.3金属件装饰膜的沉积工艺 
3塑料件装饰膜的沉积 
3.1塑料镀膜的应用领域 
3.2塑料制品对装饰膜层的要求 
3.3塑料制品装饰膜的真空镀膜工艺 
3.4塑料镀膜中的底漆.面漆 
4真空卷绕镀膜技术 
4.1真空卷绕镀膜技术应用领域 
4.2真空卷绕镀膜技术的设备分类 
4.3真空卷绕镀膜设备的结构特征 
4.4真空蒸发卷绕镀膜设备的组成 
4.5真空磁控溅射卷线镀膜设备结构 
4.6泡沫塑料镀镍 
参考文献...

伸缩显示:

[弹出查看]


	编辑荐语 [您可以向编辑推荐本书的亮点，采纳后奖励５－１０元优惠卷]（一个工作日内处理您的建议）

读者评论 w 查看本书所有书评

[发表您的书评，编辑将根据书评质量，予以相应的奖励]

(共0条)

关于我们 | 帮助 | 合作伙伴 | 我的帐户 | 图书馆 | 自考教材网 | 高校教材网
北京电话：010-68993821/88379639/88379641 邮箱：service@golden-book.com 传真：010-68990188
京ICP证060035号

专题 | 特价 | 书评 | 论坛 | 下载 | 新品 | 豆豆 | 鉴委会 | 共建 | 编辑博客 | 抢鲜预订 | 样章试读 | 名人签名 | 格子 | 播报

我的订单

关于配送

关于付款

售后服务

金书网