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| 薄膜晶体管（TFT）阵列制造技术
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大封面 |
封底 |
前言 |
内容简介 |
序言 |
目录 |
作者简介 |
译者简介 |
作者序 |
译者序 | |
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| 【读者评论】 |
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内容简介
高质量的平板显示器的核心是薄膜晶体管（thin film transistor ,tft）矩阵的特性和制造技术。这本书主要介绍非晶硅（amorphous silicon，a-si）tft阵列大规模生产的制造技术。
全书共13章，从tft元件的结构及特点，到tft检查与修复。包括tft阵列制作清洗工艺，成膜工艺，光刻工艺，不良解析和检查修复。从tft阵列大规模制造的角度，第一次比较全面的介绍了tft-lcd生产线的tft阵列制造工艺技术，工艺参数，生产工艺技术管理，工艺材料规格，设备特性，品质控制，产品技术解析。以工艺原理，设备参数控制，材料特性要求，生产工艺文件要求等大规模生产技术要素为核心，比较完整的介绍了现代化信息制造业的工艺流程与工艺管理。
本书可作为平板显示行业工程师，技术人员，管理人员的参考用书，也可供高等院校相关专业方向研究人员，研究生以及相关行业从业人员参考。
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