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微机电系统基础(英文版)
您想读这本书吗?
作者: (美)Chang Liu 出版社: 机械工业出版社
译者:   丛书名:
出版日期:2008-1-1 上架日期:2008-1-30
ISBN:9787111231677 页数:530      版次:1-1
开本:16 装帧:

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| 大封面 | 封底 | 前言 | 内容简介 | 序言 | 目录 | 作者简介 | 译者简介 | 作者序 | 译者序 |

【读者评论】

内容简介
本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面。同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例:惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器,并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法,既便于比较,又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。
本书被美国伊利诺伊大学、斯坦福大学等选为教材。

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